案例解读XRF检测：无损且便捷，RoHS合规好助手
日期：2024-03-20 13:51:00 浏览量：346 标签: XRF检测
时至今日，电子科技深刻定义着我们的生活，全球电子产品不论是产量还是废弃量都在持续增长，随之产生的环境问题与健康问题也变得愈发突出。全球范围内都意识了到这一问题的严重性，并制定强制性标准，限制电子产品类各类有害物质的含量。
以欧盟推出的RoHS标准为例，该标准的目的在于消除电子产品中的铅、汞、镉、六价铬、多溴联苯和多溴联苯醚等6种污染物质。作为生产商，如产品要出口到欧盟，必须具备RoHS认证，否则就没有准入资质。而集成电路（IC）是电子产品的核心组成部分，从这一源头确认是否符合环保标准就显得非常关键，相关检测需求也在不断增多。
XRF检测作为一种无损、快捷且环保的成分检测方法，已经广泛用于集成电路领域RoHS所划定的污染物质检测。为顺应快速扩张的需求，创芯检测于2021年购置设备、组建团队、引入业内通行标准及方法建立XRF检测项目。下面我们将从原理和实例入手，为您解读XRF检测。
1、XRF的基本检测原理：
XRF检测全称“X光荧光分析”，它基于X射线与物质间的相互作用而展开，其本质是一种成分检测的方法。当X射线照射到物质表面时，物质中的原子内层电子会被激发形成空穴，外层电子跃迁填补这些空穴时会释放出特征X射线，这些特征X射线的能量和强度与被测物质的元素组成和含量密切相关。通过测量特征X射线的能量和强度，就可以准确地确定被测物质的元素组成和含量。
2、在集成电路中的应用：
XRF检测可覆盖所有元素周期表中的元素，在集成电路等电子产品的检测中，主要用于检测金属互连、焊点和封装材料中的有害元素成分，这些元素成分的信息是评估产品是否符合RoHS等环保标准所必须。
RoHS所规定的各类污染物质的限定值，六价铬是1000ppm（百万分率）、镉是100ppm、汞是1000ppm、铅是1000ppm、总多溴联苯是1000ppm、总多溴联苯醚是1000ppm。实际检测即以上述标准来判断样品是否通过。
对于不同封装的器件，扫描的具体位置也有各自规定，参见下图介绍：
3、XRF检测诸多优势：
1.属非破坏性检测技术，不需破坏样品进行检测。
2.快捷高效，通常在几分钟内即可完成全部待测元素的检测。
3.成本低廉，适合进行批量性检验。
4.对样品的制样要求简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。
5.综合无损和快捷等特性，XRF检测具有显著的环保优势。
4、检测结果中干扰因素识别：
需要注意的是，在XRF检测过程中，若两种元素的X射线能量相近，可能会使图谱产生重叠干扰，这要求有工程师对干扰图谱进行精确判读。
我们列举三种在集成电路检测中十分典型的干扰图谱，在检测特定材料样品的过程中，这些干扰可能会发生，要注意排除这些元素间的干扰，确保检测结果的准确和可靠。
(1)金（Au）产生的干扰峰及其对镉（Cd）的影响如下图：
(2)铅（Pb）产生的叠加峰对镉（Cd）的影响如下图:
(3)溴（Br）产生的双倍峰及其对镉（Cd）的影响如下图:
5、案例分享(1)
依据客户指定，测试镉、铅、汞、总铬这四种有害物质元素，测试结果符合RoHS限定值要求。
从检出结果来看，总铬、镉、汞的检测含量低于仪器可检出值下限（ND），表示其含量极低；汞的检出值为29.04ppm，低于1000ppm的标准值。综合四项物质检出情况，给予通过判定。
案例分享(2)
依据客户指定，测试镉、铅、汞、总铬这四种有害物质元素，测试结果符合RoHS限定值要求，样品测试通过。具体的指标解读可参照上例，判定同样为通过。
随着全球范围内环保要求的日益严苛，通过XRF检测集成电路中有害物质含量的需求也在不断攀升。创芯检测现具备CNAS和CMA资质认证，可保证检测流程的专业性和结果的准确性，所出报告具有法律效力。如您有集成电路检测需求，欢迎致电创芯检测，我们将竭诚为您服务。服务电话：4008-655-800。
